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    • 薄膜生長速率測試儀

      薄膜生長速率測試儀,采用無損的激光技術實時原位檢測薄膜沉積速率、薄膜厚度以及光學常量(n&k),可廣泛的應用于金屬有機化學氣象沉積MOCVD、分子束外延MBE、濺射系統Sputtering和蒸發系統等薄膜沉積過程的實時原位監控。

      更新時間:2023-09-07

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